آیا چاک سرامیکی نیترید آلومینیوم می تواند در برابر فرآیندهای درجه حرارت بالا مقاومت کند

چاک های سرامیکی Aln به دلیل خاصیت حرارتی و مکانیکی استثنایی آنها در نیمه هادی درجه حرارت بالا و کاربردهای صنعتی برتری دارند:

مقاومت شدید درجه حرارت - از کرایوژنیک تا 1000 درجه (در جوهای بی اثر) ، عملکردی بهتر از آلومینا (محدود به 800 درجه) و پلیمرها.}} است.

Thermal Shock Resilience–Withstands rapid thermal cycling (ΔT >500 درجه /ثانیه) بدون ترک خوردگی ، برای پردازش سریع حرارتی (RTP) در ساخت تراشه. بسیار مهم است

گسترش حرارتی کم - CTE 4. 5 ppm/k از نزدیک با ویفرهای سیلیکون (2.6 ppm/k) مطابقت دارد و در هنگام گرمایش به حداقل می رسد.

هدایت حرارتی بالا - 170-200 w/mk اتلاف گرما دمای یکنواخت (درجه 1 درجه در ویفرهای 450 میلی متر در 600 درجه).

Oxidation Resistance–Forms a protective Al₂O₃ surface layer at >800 درجه در هوا ، حفظ یکپارچگی ساختاری .

پلاسما و ثبات شیمیایی - روایات هالوژن پلاسما (CL₂/F₂) و پیش سازهای آلی فلزی در اتاق های MOCVD با 900 درجه.

برنامه های کلیدی:

مراحل لیتوگرافی EUV (کمتر از یا مساوی با گره های 5 نانومتر)

راکتورهای Gan Epitaxy (درجه800-1100 درجه)

بازپرداخت دستگاه برق (700 درجه ، چرخه 5 دقیقه)

با صفر پیشی و<0.1μm thermal deformation, AlN chucks enable high-precision processing in advanced semiconductor fabs and LED production. Their 10x longer lifespan than traditional materials reduces downtime in 24/7 wafer fabs.

برای بیشترچاک سرامیکی نیترید آلومینیوماطلاعات ، لطفاً به www . seramicstimes . com مراجعه کنید