درج اتاقک

توضیحات محصولات

در زمینه پیشرفته-تولید نیمه هادی، درج های محفظه سرامیکی آلومینا به عنوان پوشش و مواد مصرفی هسته برای محفظه های فرآیند حیاتی عمل می کنند. آنها با خواص مواد استثنایی خود، محیط واکنشی پایدار، خالص و بادوام را برای فرآیندهای هسته‌ای مانند حکاکی تراشه، رسوب{2} لایه نازک (CVD/PVD) و کاشت یون فراهم می‌کنند. عملکرد آنها مستقیماً بر دقت فرآیند، بازده تولید و هزینه های عملیاتی تجهیزات تأثیر می گذارد.

عملکرد محصول

• مقاومت استثنایی در برابر خوردگی پلاسما: در طی فرآیندهای اچ و CVD، محفظه ها با پلاسماهای پرانرژی و بسیار واکنش پذیر (مثلاً بر پایه فلوئور- یا کلر-) پر می شوند. سرامیک‌های آلومینا با خلوص بالا، بی‌اثری شیمیایی شدیدی از خود نشان می‌دهند و به طور مؤثر در برابر بمباران و فرسایش شیمیایی ناشی از چنین پلاسماها مقاومت می‌کنند.
• خلوص استثنایی و آلودگی کم: خلوص بالای سرامیک‌های آلومینا 99.9%-و حتی سرامیک‌های آلومینا 99.99%{3}}تضمین حداقل انتشار یون‌های فلزی (مانند Na، K، Fe) یا سایر ناخالصی‌ها را در شرایط دمای بالا و پلاسما تضمین می‌کند.
• بالاتر-پایداری دما و نرخ خروج گاز پایین: سرامیک‌های آلومینا مقاوم در برابر-دمای بالا-پایداری طولانی مدت-در 1600 درجه حفظ می‌کنند. ضریب انبساط حرارتی نسبتا پایین آنها منجر به حداقل تغییر شکل در طول چرخه حرارتی مکرر می شود.
• استحکام و استحکام مکانیکی استثنایی: سرامیک آلومینا{0}با خلوص بالا، علیرغم سرامیکی بودن، استحکام خمشی و سختی فوق‌العاده‌ای دارد (سختی Mohs 9، پس از الماس دوم). تنش های مکانیکی و بارهای مونتاژ را تحمل می کند و یکپارچگی ساختار محفظه را تضمین می کند.
• خواص عایق عالی: به عنوان یک عایق الکتریکی برتر، به طور موثر پلاسما را از حفره های فلزی جدا می کند و به کنترل دقیق مورفولوژی و توزیع پلاسما کمک می کند.
• مقاومت در برابر شوک حرارتی: از طریق فرمولاسیون مواد بهینه و کنترل ریزساختاری، سرامیک‌های ساختاری آلومینا مدرن مقاومت در برابر شوک حرارتی را از خود نشان می‌دهند و آنها را قادر می‌سازد تا در برابر نوسانات دما در طول پردازش مقاومت کنند و خطر ترک خوردگی را کاهش دهند.

کاربرد محصول

• محافظت از محفظه اصلی: از رسوب مستقیم محصولات جانبی واکنش تولید شده در طول فرآیند (اگر مواد فیلم و ذرات محصول جانبی) روی دیواره‌های محفظه دائمی گران‌قیمت و دشوار{{1} و اجزای حیاتی انباشته می‌شوند، به طور قابل توجهی طول عمر تجهیزات اصلی را افزایش می‌دهد و هزینه‌های نگهداری را کاهش می‌دهد.
• حفظ پاکیزگی فرآیند: منابع ذرات داخل محفظه را با جذب آلاینده ها و محصولات جانبی کاهش دهید. هنگامی که سطوح درج بیش از حد ضخیم یا به شدت آلوده می شوند، می توان آنها را مستقیماً تعویض کرد و به سرعت تمیزی محفظه را بازیابی کرد و از عملکرد محصول محافظت کرد.
• بهینه سازی عملکرد فرآیند: درج های خاصی (اگر صفحات توزیع گاز) مستقیماً در فرآیند شرکت می کنند و از توزیع یکنواخت گازهای واکنش در داخل محفظه اطمینان حاصل می کنند. این یکنواختی در رسوب یا اچ کردن فیلم را تضمین می کند.

کنترل کیفیت

گواهینامه ها و افتخارات

قدرت کارخانه

کارگاه‌های دیجیتال، کارخانه هوشمند، و سیستم‌های جمع‌آوری داده در زمان واقعی ما از اصول تولید ناب برای به حداقل رساندن اتلاف و به حداکثر رساندن بهره‌وری منابع استفاده می‌کنند. با ترکیب فناوری ماشینکاری CNC، فناوری اینترنت صنعتی (IIoT) و سیستم‌های کنترل خودکار، ما به اتصال یکپارچه و عملیات مشترک بین تجهیزات تولید دست می‌یابیم و در نتیجه صرفه‌جویی در تولید را به حداکثر می‌رسانیم.