Through-Glass Via (TGV) یک فناوری اصلی برای-اتصال سه بعدی در بستهبندیهای مبتنی بر شیشه پیشرفته- است. با استفاده از ویژگیهای{4}}فرکانس بالا و{5}}تلفات پایین، به فرآیندی کلیدی برای بستهبندی تراشههای-بالا تبدیل شده است. پر کردن فلزی آبکاری TGV یک گام حیاتی برای دستیابی به اتصالات عمودی الکتریکی است که چالشهای فرآیند دوگانه با نسبت پر شدن-بالا و قوام پر شدن جهانی یکنواخت را ارائه میکند که مستقیماً هدایت و قابلیت اطمینان دستگاه بستهبندی شده را تعیین میکند. در حال حاضر، پر کردن آبکاری شده TGV به دو سیستم فرآیند اصلی تقسیم می شود: پر کردن conformal و پر کردن جامد. در همین حال، تفاوت در اچ از طریق مورفولوژی نیز به طور قابل توجهی بر عملکرد آبکاری پر کردن تاثیر می گذارد.
پر کردن منسجم اساساً خصوصیات شکل اصلی TGV را حفظ می کند. مزایای آن زمان آبکاری کوتاه و کنترل نسبتا آسان یکنواختی فرآیند است. با این حال، نقطه ضعف آن این است که جریان مجاز از طریق Via محدود است، که منجر به طیف محدودی از کاربردهای محصول می شود. علاوه بر این، پس از پر کردن منسجم، قبل از فرآیندهای لایه توزیع مجدد (RDL) بعدی، مرکز عبوری باید با یک ماده پلیمری پر شود. جدای از رشد یکنواخت دیواره جانبی، پر کردن همشکل را میتوان با استفاده از روش آببندی یکطرفه نیز بهدست آورد، که منجر به ساختاری مانند قوس-میشود.
لازم به ذکر است که اگرچه TGV معمولاً دارای ساختار سوراخ-می باشد، شکل واقعی پس از پردازش کاملاً یکنواخت نیست. علاوه بر سوراخهای نسبتاً منظم-مستقیم، ویژگیهای گلوگاه دوگانه با دهانههای بزرگ و دیوارههای جانبی مخروطی نیز ممکن است رخ دهد. نقاط کنترل کلیدی در طول آبکاری برای اشکال مختلف متفاوت است. برای گذرگاههای با مقاطع{6} منظم، تمرکز بر خیس شدن، یکنواختی پر کردن، و کنترل تنش پسماند است. برای ساختارهای دو گلوگاهی، غلظت جریان موضعی در ورودی ورودی محتملتر است که بر دوباره پر کردن یون و یکنواختی رسوب در داخل ورودی تأثیر میگذارد. بنابراین، بحث در مورد آبکاری TGV نه تنها باید بین پرکنندههای منسجم و جامد تمایز قائل شود، بلکه باید ویژگیهای خاص از طریق شکل را برای درک تفاوتهای فرآیند در نظر بگیرد.
پر کردن آبکاری جامد از طریق TGV پیچیده تر است. رویکرد جریان اصلی ابتدا یک پل در مرکز عبور تشکیل میدهد و به دنبال آن پر کردن از پایین{1}} بر اساس دو راهگاه کور انجام میشود. برای رسیدن به پل زدن در مرکز ابتدا می توان از دو روش استفاده کرد. یکی شامل مواد افزودنی برای افزایش حساسیت به همرفت، ایجاد یک توزیع غلظت غیریکنواخت در داخل TGV از طریق، و در نتیجه سطوح پلاریزاسیون متفاوت است. در نتیجه، سرعت رسوب در مرکز عبوری سریعترین است و ابتدا پل را تکمیل میکند. روش دیگر از جریان پالسی برای کنترل تفاوت نرخ انحلال در داخل TGV استفاده می کند. میدان الکتریکی در نزدیکی دهانههای ورودی قویتر است، بنابراین سرعت انحلال در آنجا سریعتر است، در حالی که در داخل via به دلیل میدان ضعیفتر، کندتر است. پس از تعدادی چرخه پالس، پل زدن در مرکز عبوری حاصل می شود.
در حال حاضر، سه استراتژی کنترل شکل موج برای پل زدن TGV وجود دارد. اولین مورد، کنترل پالس سنکرون است که در آن پالس های جریان رو به جلو و معکوس یکسان به هر دو طرف TGV اعمال می شود. دوم کنترل پالس ناهمزمان است که در آن پالس های جریان رو به جلو و معکوس با دامنه های مختلف به دو طرف اعمال می شود. سومین کنترل جریان متناوب است که یک گام مکث جریان را به پالس های جریان رو به جلو و معکوس اضافه می کند.
علاوه بر روش -اول-سپس{2}}پایین-پر کردن پل، برخی از مؤسسات تحقیقاتی مستقیماً از رویکرد پر کردن پایین-بالا استفاده میکنند. به عنوان مثال، EXTOL (کره) ابتدا به طور موقت یک لایه رسانا را به یک طرف زیرلایه شیشه ای می چسباند. سپس گذرگاههای TGV اصلی شبیه ویژگیهای برآمدگی-میشوند، و گذرگاهها از پایین-از لایه رسانا به بالا رشد میکنند. پس از اتمام پر کردن، لایه رسانا جدا می شود. دانشگاه ملی چیائو تونگ (تایوان) روش متفاوتی برای رشد TGV از پایین{11}به بالا اتخاذ میکند: ابتدا، یک لایه فلزی در یک طرف TGV پاشیده میشود و سپس فوتولیتوگرافی برای نمایش الگوهای RDL و TGV انجام میشود. آبکاری به طور همزمان RDL در یک طرف و پر کردن جزئی TGV را تکمیل می کند، پس از آن پر کردن فلزی شدن آبکاری شده پایین{13}}TGV انجام می شود.
به طور خلاصه، انتخاب و بهینهسازی فرآیندهای پر کردن متالیزاسیون با آبکاری TGV باید کارایی فرآیند، کیفیت پر کردن و الزامات کاربرد دستگاه را متعادل کند. پر کردن منسجم ساده و قابل کنترل است و برای سناریوهای بسته بندی با فرکانس پایین و سبک وزن مناسب است. پر کردن جامد، با ظرفیت حمل جریان عالی-و پایداری ساختاری، الزامات عملکرد سختگیرانه تراشههای-بالا و بستهبندی با فرکانس بالا-با سرعت بالا را برآورده میکند.