نازل سرامیکی نیمه هادی

نازل سرامیکی نیمه هادی

نازل های سرامیکی نیمه هادی به عنوان اجزای بسیار دقیق در تجهیزات ساخت ویفر نیمه هادی (اگر اچرها، سیستم های رسوب بخار شیمیایی و کاشت یونی) عمل می کنند...
ارسال درخواست
چت کن
شرح

توضیحات محصولات

 

نازل های سرامیکی نیمه هادی به عنوان اجزای دقیق و حیاتی در تجهیزات ساخت ویفر نیمه هادی (اگر اچرها، سیستم های رسوب بخار شیمیایی و کاشت یونی) عمل می کنند. وظیفه اصلی آنها هدایت دقیق، توزیع و کنترل گازهای فرآیند (یا گازهای واکنشی) و پلاسما است و آنها را به تعامل با سطوح ویفر سیلیکونی تحت الگوهای جریان و حالت‌های انرژی خاص هدایت می‌کند. این کار فرآیندهایی از جمله رسوب{2}}فیلم نازک، حکاکی الگو، و اصلاح سطح را ممکن می‌سازد.

 

Semiconductor Ceramic Nozzle

 

عملکرد محصول

 

  • مقاومت در برابر سایش استثنایی و عمر مفید طولانی‌تر: مواد سرامیکی دارای سختی بسیار بالایی هستند (به عنوان مثال، سرامیک آلومینا ۹۹۵ بالاتر از Hv1500، با سرامیک زیرکونیا به همان اندازه برجسته)، به طور موثر در برابر سایش طولانی مدت از ذرات جامد در دوغاب‌هایی مانند محلول‌های مقاوم در برابر نور و صیقل مقاومت می‌کنند.
  • مقاومت شیمیایی استثنایی در برابر خوردگی: آنها تحمل فوق‌العاده‌ای را در برابر حلال‌های مقاوم در برابر نور، محلول‌های تمیزکننده اسید/قلیایی قوی، گازهای واکنش‌پذیر و سایر عوامل خورنده نشان می‌دهند و حتی پس از استفاده طولانی مدت، زنگ‌زدگی یا تخریب شیمیایی نشان نمی‌دهند.
  • پایداری حرارتی و ابعادی برتر: با ضریب انبساط حرارتی بسیار پایین، سرامیک‌ها در نوسانات دمای فرآیند، شکل‌ها و ابعاد حفره‌ای در سطح میکرون{0}} یا حتی نانومتری{1}} را حفظ می‌کنند.
  • پوشش سطح بالا و آلودگی کم: بدنه‌های متخلخل سرامیکی می‌توانند از طریق ماشین‌کاری دقیق سرامیکی به روکش‌های آینه‌ای{0}} دست یابند. سطوح آنها در برابر چسبندگی ذرات مقاوم است، مغناطیسی نیست و به راحتی تمیز می شود.
  • عایق و ویژگی های عملکردی عالی: سرامیک ها عایق های برتر هستند. آلومینا عملکرد عایق فوق العاده ای را ارائه می دهد که معمولاً در عایق های آلومینا و صفحات سرامیکی عایق ZrO2 استفاده می شود. سرامیک‌های نیترید آلومینا رسانایی حرارتی بالایی را نشان می‌دهند که برای کاربردهایی با الزامات ویژه کنترل دما مناسب است.

 

cermicstimes performance parameter

 

برنامه محصولات

 

  • اچر پلاسما: به عنوان سر اسپری گاز یا نازل کناری عمل می کند تا به طور یکنواخت گاز اچ را توزیع کند.
  • تجهیزات رسوب بخار شیمیایی: در فرآیندهای PECVD و ALD، گاز پیش ساز را به طور یکنواخت وارد محفظه واکنش می کند.
  • کاشت یونی: برای هدایت و تشکیل پرتو یونی استفاده می شود.
  • کوره انتشار: به عنوان یک نازل تزریق گاز عمل می کند.

 

کنترل کیفیت

 

ما به شدت از سیستم مدیریت کیفیت ISO 9001 برای اطمینان از ثبات پیروی می کنیم:

  • بازرسی 100% مواد اولیه
  • خطوط تولید پرس گرم{0} پیشرفته
  • آزمایش در خانه: چگالی، سختی، تجزیه و تحلیل ریزساختار
  • گواهینامه های شخص ثالث (SGS، CE، ROHS در صورت درخواست موجود است)

 

Our Certificates

 

گواهینامه ها و افتخارات

 

ما دارای تخصص فنی پیشرفته در فرآیندهای تف جوشی، شکل دهی، سنگ زنی، ماشینکاری CNC، حفاری لیزری، سنگ زنی و پرداخت و سایر فرآیندها هستیم. ما محصولات مختلف سرامیکی را با توجه به نیاز مشتری سفارشی می کنیم.

 

Our Exhibitions

 

قدرت کارخانه

 

ما از روش‌ها و تکنیک‌های علمی در طول فرآیندهای طراحی و ساخت محصولات یا پروژه‌ها برای بهینه‌سازی و بهبود ساختار، عملکرد و گردش‌های کاری تولید آن‌ها بر اساس نیاز مشتری استفاده می‌کنیم. این فرآیند به پیشرفت فناوری، بهبود کیفیت محصول و کاهش هزینه های تولید اختصاص دارد.

 

Our Workshops And Offices

product-1600-900

تگ های محبوب: نازل سرامیکی نیمه هادی، تولید کنندگان نازل سرامیکی نیمه هادی، تامین کنندگان، کارخانه