خلاء سرامیک کاربید سیلیکون چاک

عملکرد اصلی جدول قطعه کار در یک دستگاه لیتوگرافی سرامیکی کاربید سیلیکون حمل ویفرها و ماسک ها و تکمیل روند قرار گرفتن در معرض است و عملکرد آن به طور مستقیم بر عملکرد و وضوح تأثیر می گذارد. الزامات مربوط به جدول برای دستیابی به سرعت بالا- سرعت و سکته مغزی بزرگ و شش درجه آزادی Ultra - حرکت دقیق ، دقت موقعیت مکانی جدول کار برای رسیدن به 10 نانومتر ، ماسک- wafer ، همزمان با قدم و سرعت SCANDONCY از 150 نانومتر و 120 نانومتر از 150 نانومتر و 120 نانومتر از 150 نانومتر و 120 نانوم لیتوگرافی 33 نانومتر و لیتوگرافی عرض خط 10 نانومتر ، سرعت اسکن ماسک 500 نانومتر در ثانیه ، و به یک حرکت میز کار بسیار بالا نیاز دارد و به حرکت بسیار بالایی نیاز دارد. برای 100 لیتوگرافی با وضوح 100 نانومتر با دقت ثبت نام 33 نانومتر و پهنای خط 10 نانومتر ، سرعت اسکن ماسک نزدیک به 500 نانومتر در ثانیه است و مرحله کار لازم است که از دقت و صافی بسیار بالایی برخوردار باشد.

کاربید سیلیکون یک ماده سرامیکی ساختاری عالی با استحکام بالا ، سختی بالا ، مدول بالایی از کشش ، سفتی خاص ، هدایت حرارتی بالا ، ضریب کم انبساط حرارتی و ثبات شیمیایی عالی است. کاربید سیلیکون دارای مدول بسیار بالایی از کشش ، هدایت حرارتی و ضریب متوسط ​​انبساط حرارتی است ، از صیقل دادن بسیار عالی برخوردار است ، می تواند در سطح آینه با کیفیت بالا {1} پردازش شود و تولید تغییر شکل و فشار حرارتی آسان نیست.

CeramicStimes ، سرامیک کاربید سیلیکون این شرکت از سرامیک های سرامیک ، اساتید و پزشکان تیم تحقیق و توسعه فوق العاده ، با استفاده از فناوری پیشرفته و پردازش سرامیکی پیشرفته ، تسلط از فرمولاسیون پودر و درمان ، تشکیل ، پردازش اسکله ، پخت و پز دقیق و سنگر سازی دقیق و سایر مواد سرامیک پیشرفته پیشرفته های سرامیک پیشرفته جهان تشکیل شده است. به ترتیب کارشناسان تحقیق می کنند: نیترید ، اکسید ، کاربید و سایر مواد سرامیکی پیشرفته و سرامیک کامپوزیت. برای بیش از 30 حق ثبت اختراع چینی اعمال شد. این محصولات با توجه به نقشه ها قابل تنظیم هستند و به بیش از 50 کشور و مناطق در سراسر جهان به طور گسترده ای فروخته می شوند.

1. قدرت بالا

2. سختی بالا

3. مدول الاستیک بالا

4. سفتی خاص بالا

5. هدایت حرارتی بالا

6. ضریب انبساط حرارتی

تگ های محبوب: خلاء سرامیک کاربید سیلیکون ، چاک ، خلاء سرامبی کاربید سیلیکون تولید کنندگان ، تهیه کنندگان ، کارخانه